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                規格參數
                功能圖解
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                簡介


                Suragus面阻①測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面〒阻測試技術且測試準確穩♀定,對於⌒ 無損檢測、在線面阻監測具有重要意義。

                 

                 

                 

                規格參數


                測量模式:非接觸式實時測量

                襯底:foils, glass, wafer等

                檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可☆定制其他)

                傳感器數∏目:1 – 99

                面阻範圍: 0.0001~1000 Ohm/sq

                薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而∴定)

                工作環境:真空 /  非真空  

                工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

                采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

                配套設備(選配):硬件觸發 / 條形碼閱讀器

                選配功能:導電〓膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向異性

                 

                 

                功能圖解


                 

                 

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                Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對於無損檢測、在線面阻監測具有重要意義。

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                面阻範圍: 0.0001~1000 Ohm/sq

                薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

                工作環境:真空 /  非真空  

                工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

                采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

                配套設備(選配):硬件觸發 / 條形碼閱讀器

                選配功能:導電膜厚ω度/ 光透射率 /密度 /各向異性

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