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                微流控平臺

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                實驗室固定式面阻測量儀

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                規格參數
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                簡介


                Suragus面阻測試儀來自╲德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確★穩定,對於無損檢測、在線監測具№有重要意義。

                 

                規格參數


                測量模式:非卐接觸式實時測量

                襯底:foils, glass, wafer等

                平臺尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他規格請聯系)

                面阻範圍: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

                薄膜厚度:2nm – 2mm(依々據面阻而定)

                設備尺寸:11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

                 

                 

                功能圖解


                 

                 

                 

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                未找到相應參數組,請於後臺屬性→模板中添加

                Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且↑測試準確穩定,對於無損檢測、在線監測具有重要意義。

                 

                測量模式:非接觸式實時測量

                襯底:foils, glass, wafer等

                平臺尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他規格請聯系)

                面阻範圍: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

                薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

                設備尺寸:11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

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                暫未實現,敬請期待
                暫未實現,敬請期待

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